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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김준우 | - |
| dc.contributor.author | 김준서 | - |
| dc.date.accessioned | 2025-06-12T10:41:28Z | - |
| dc.date.available | 2025-06-12T10:41:28Z | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/58430 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 실시예에 마그네트론 스퍼터링 장치는, 스퍼터가스가 수용되고, 워크피스 배치되는 내부공간을 제공하는 챔버, 상기 내부공간에 형성되는 전기장에 의하여 상기 워크피스에 증착물질을 제공하는 스퍼터링 타겟 및 상기 스퍼터링 타겟의 일측에 배치되어 자기장을 형성하는 마그네틱을 포함하는 이온소스 유닛, 상기 이온소스 유닛 측으로 전력을 제공하는 전원공급 유닛, 및 상기 챔버의 외측에 설치되는 냉각장치 및 상기 냉각장치에서 상기 내부공간의 이온소스 유닛으로 직접 연결되는 금속재의 콜드헤드를 포함하여 냉매 유입이 없는 냉각 유닛을 포함할 수 있다. | - |
| dc.title | 마그네트론 스퍼터링 장치 | - |
| dc.title.alternative | Magnetron Sputtering Device | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 김준우. 마그네트론 스퍼터링 장치. | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2022-0122858 | - |
| dc.date.application | 2022-09-27 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2802178 | - |
| dc.date.registration | 2025-04-24 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
