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마그네트론 스퍼터링 장치
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- Title
- 마그네트론 스퍼터링 장치
- Alternative Title
- Magnetron Sputtering Device
- Country
- KO
- Application Date
- 2022-09-27
- Application No.
- 10-2022-0122858
- Registration Date
- 2025-04-24
- Publication No.
- 10-2802178
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명의 일 실시예에 마그네트론 스퍼터링 장치는, 스퍼터가스가 수용되고, 워크피스 배치되는 내부공간을 제공하는 챔버, 상기 내부공간에 형성되는 전기장에 의하여 상기 워크피스에 증착물질을 제공하는 스퍼터링 타겟 및 상기 스퍼터링 타겟의 일측에 배치되어 자기장을 형성하는 마그네틱을 포함하는 이온소스 유닛, 상기 이온소스 유닛 측으로 전력을 제공하는 전원공급 유닛, 및 상기 챔버의 외측에 설치되는 냉각장치 및 상기 냉각장치에서 상기 내부공간의 이온소스 유닛으로 직접 연결되는 금속재의 콜드헤드를 포함하여 냉매 유입이 없는 냉각 유닛을 포함할 수 있다.
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