시드 증착 공정을 이용한 안티몬 칼코할라이드 박막 제조방법, 이로부터 제조된 안티몬 칼코할라이드 박막 및 이를 포함하는 태양전지
Alternative Title
Method for manufacturing antimony chalcohalide thin films using seed deposition process, antimony chalcohalide thin films manufactured by the same and solar cell comprising the same
본 발명은 시드 증착 공정을 이용한 안티몬 칼코할라이드 박막 제조방법, 이로부터 제조된 안티몬 칼코할라이드 박막 및 이를 포함하는 태양전지에 관한 것으로, 구체적으로 본 발명은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 제1 전구체 용액을 이용하여 시드를 제1 증착하는 단계; 및 상기 시드 상에 제2 전구체 용액을 이용하여 제2 증착하는 단계를 포함한다. 본 발명은 상기 방법으로 제조된 배향성이 조절된 안티몬 칼코할라이드 박막 및 상기 박막을 포함하는 태양전지에 관한 것이다.
