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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김준우 | - |
| dc.contributor.author | 김준서 | - |
| dc.date.accessioned | 2025-12-01T02:10:19Z | - |
| dc.date.available | 2025-12-01T02:10:19Z | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/59254 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명의 일 실시예는, 외관을 형성하는 외부 하우징, 외부 하우징과 상대 회전이 가능하도록 외부 하우징의 내부에 삽입되며, 피처리물이 안착되는 안착부를 포함하는 내부 하우징, 외부 하우징에 배치되며 피처리물의 표면에 박막을 형성시키는 스퍼터부 및 내부 하우징이 회전 가능하도록 구동력을 제공하는 구동부를 포함하며, 안착부는 내부 하우징의 외주면에서 내부 하우징의 중심을 향하여 오목한 홈부의 형상으로 형성되는 기판 처리 장치를 제공한다. | - |
| dc.title | 기판 처리 장치 | - |
| dc.title.alternative | Apparatus for processing substrate | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2023-0069989 | - |
| dc.date.application | 2023-05-31 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2888878 | - |
| dc.date.registration | 2025-11-17 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
