기판 처리 장치

Abstract

본 발명의 일 실시예는, 외관을 형성하는 외부 하우징, 외부 하우징과 상대 회전이 가능하도록 외부 하우징의 내부에 삽입되며, 피처리물이 안착되는 안착부를 포함하는 내부 하우징, 외부 하우징에 배치되며 피처리물의 표면에 박막을 형성시키는 스퍼터부 및 내부 하우징이 회전 가능하도록 구동력을 제공하는 구동부를 포함하며, 안착부는 내부 하우징의 외주면에서 내부 하우징의 중심을 향하여 오목한 홈부의 형상으로 형성되는 기판 처리 장치를 제공한다.