Detail View
스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈 및 포터블 시스템
Citations
WEB OF SCIENCE
Citations
SCOPUS
Metadata Downloads
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김준서 | - |
| dc.contributor.author | 김준우 | - |
| dc.date.accessioned | 2026-07-01T02:10:27Z | - |
| dc.date.available | 2026-07-01T02:10:27Z | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/60437 | - |
| dc.description.abstract | 본 발명은 스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈 및 포터블 시스템이 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈은 자기장을 인가하는 스퍼터링 이온 소스의 전방의 타겟을 개폐하도록 설치되는 제1셔터; 상기 제1셔터의 일단이 연결되고, 상기 제1셔터가 타겟에 대해 직교방향으로 개폐되도록 작동하는 제1 개폐 장치부; 및 상기 제1 개폐 장치부에 동력을 제공하는 제1모터; 를 포함한다. | - |
| dc.title | 스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈 및 포터블 시스템 | - |
| dc.title.alternative | Electric Shutter Module and Portable System for Sputtering Ion Source | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.publisher.country | KO | - |
| dc.identifier.patentApplicationNumber | 10-2024-0177164 | - |
| dc.date.application | 2024-12-03 | - |
| dc.identifier.patentRegistrationNumber | 10-2976306 | - |
| dc.date.registration | 2026-06-08 | - |
| dc.contributor.assignee | (재)대구경북과학기술원(100/100) | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
File Downloads
- There are no files associated with this item.
공유
Total Views & Downloads
???jsp.display-item.statistics.view???: , ???jsp.display-item.statistics.download???: