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스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈 및 포터블 시스템
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- Title
- 스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈 및 포터블 시스템
- Alternative Title
- Electric Shutter Module and Portable System for Sputtering Ion Source
- Country
- KO
- Application Date
- 2024-12-03
- Application No.
- 10-2024-0177164
- Registration Date
- 2026-06-08
- Publication No.
- 10-2976306
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈 및 포터블 시스템이 개시된다. 본 발명의 하나의 실시 예에 따른 스퍼터링 이온 소스의 전동셔터 모듈은 자기장을 인가하는 스퍼터링 이온 소스의 전방의 타겟을 개폐하도록 설치되는 제1셔터; 상기 제1셔터의 일단이 연결되고, 상기 제1셔터가 타겟에 대해 직교방향으로 개폐되도록 작동하는 제1 개폐 장치부; 및 상기 제1 개폐 장치부에 동력을 제공하는 제1모터; 를 포함한다.
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