Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이승민 | - |
| dc.contributor.author | 김상원 | - |
| dc.contributor.author | 최홍수 | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-01T11:05:58Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-01T11:05:58Z | - |
| dc.date.created | 2018-03-29 | - |
| dc.date.issued | 2017-01 | - |
| dc.identifier.citation | 기계저널(Journal of the KSME), v.57, no.1, pp.42 - 45 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-7287 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/20.500.11750/6547 | - |
| dc.identifier.uri | http://www.dbpia.co.kr/Journal/ArticleDetail/NODE07088780 | - |
| dc.description.abstract | 이 글에서는 레이저 기반 포토리소그래피 공정에 대해서 소개하고, 최근 각광받고 있는 3차원 레이저 포토리소그래피 시스템 및 이를 이용한 마이크로 스케일의 3차원 구조물 제작 방법과 응용에 대해 소개하고자 한다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.local | Article(Domestic) | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.citation.publicationname | 기계저널(Journal of the KSME) | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이승민 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김상원 | - |
| dc.identifier.citationVolume | 57 | - |
| dc.identifier.citationNumber | 1 | - |
| dc.identifier.citationStartPage | 42 | - |
| dc.identifier.citationEndPage | 45 | - |
| dc.identifier.citationTitle | 기계저널(Journal of the KSME) | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 이승민 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 김상원 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 최홍수 | - |
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- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 1. Journal Articles
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