인공와우용 음향 센서 장치 및 그 장치의 제조 방법

Abstract

본 발명의 실시예는 실리콘 웨이퍼가 아닌 폴리머 소재의 기판 부재를 기반으로 하는 인공와우용 음향 센서 장치 및 그 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 유연성과 부착성이 우수한 폴리머 소재를 실리콘 웨이퍼에 코팅하여 기판 부재를 형성한 후, 그 기판 부재의 상면에 MEMS 기술을 이용하여 빔 어레이들을 형성한다. 그리고, 빔 어레이들이 형성된 기판 부재를 실리콘 웨이퍼로부터 분리하여 음향 센서 장치를 제조할 수 있다.