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인공와우용 음향 센서 장치 및 그 장치의 제조 방법

Title
인공와우용 음향 센서 장치 및 그 장치의 제조 방법
Alternative Title
ACOUSTIC SENSOR APPARATUS FOR COCHLEAR IMPLANT AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
Author(s)
장종문최홍수송원준
DGIST Authors
최홍수
Country
KO
Application Date
2013-10-01
Application No.
10-2013-0117495
Registration Date
2015-06-16
Publication No.
10-1530775
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/7927 10-2013-0117495
Abstract
본 발명의 실시예는 실리콘 웨이퍼가 아닌 폴리머 소재의 기판 부재를 기반으로 하는 인공와우용 음향 센서 장치 및 그 장치의 제조 방법에 관한 것이다. 유연성과 부착성이 우수한 폴리머 소재를 실리콘 웨이퍼에 코팅하여 기판 부재를 형성한 후, 그 기판 부재의 상면에 MEMS 기술을 이용하여 빔 어레이들을 형성한다. 그리고, 빔 어레이들이 형성된 기판 부재를 실리콘 웨이퍼로부터 분리하여 음향 센서 장치를 제조할 수 있다.
Related Researcher
  • 최홍수 Choi, Hongsoo 로봇및기계전자공학과
  • Research Interests Micro/Nano robot; Neural prostheses; MEMS; BMI; MEMS/NEMS; BioMEMS; MEMS 초음파 트랜스듀스; 인공와우
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Appears in Collections:
Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 3. Patents

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