하이브리드 박막 태양전지의 제조방법 및 이를 통해 제조된 하이브리드 박막 태양전지

Abstract

본 발명은 제1 전극 상부에 진공 공정으로 Cu2ZnSn(S,Se)4(CZTSSe) 박막을 형성하는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 형성된 CZTSSe 박막 상부에 용액 공정으로 다공성 Cu2ZnSnS4(CZTS) 박막을 형성하는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 형성된 CZTS 박막 상부에 n형 버퍼층을 형성하는 단계(단계 3); 및 상기 단계 3에서 형성된 n형 버퍼층 상부에 제2 전극을 형성하는 단계(단계 4);를 포함하는 하이브리드 박막 태양전지의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 하이브리드 박막 태양전지의 제조방법은 진공 공정으로 치밀한 구조의 CZTSSe 박막을 형성하고, 용액 공정으로 다공성 CZTS 박막을 형성함으로써, 제조되는 하이브리드 박막 태양전지의 광전변환효율이 우수한 효과가 있다. 또한, CZTS 박막을 용액 공정으로 제조할 때, 유기물 바인더를 사용하지 않고 비진공 공정으로 제조가 가능하며, 전열처리 및 후열처리의 온도와 시간에 따라 박막의 모폴로지, 결정립 크기 및 다공성 조절이 용이하여 태양전지의 성능을 더욱 향상시킬 수 있는 효과가 있다.