Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus

유연 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법

Title
유연 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법
Inventors
오선종김철기임재인
DGIST Inventors
오선종; 김철기; 임재인
Country
KO
Application Date
2011-07-19
Application No.
10-2011-0071344
Registration Date
2013-02-08
Registration No.
10-1233662
Assignee
(재)대구경북과학기술원(50/50),충남대학교 산학협력단(50/50)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8142
https://doi.org/10.8080/1020110071344 [KIPRIS]
Abstract
자성다층 박막을 유연성을 갖는 필름에 증착 및 패터닝 하여 형성된 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 유연 기판, 상기 유연 기판상에 마련된 전극층, 상기 유연 기판과 전극층상에 형성된 자기 센서층 및 상기 자성층의 일부 및 자기 센서층의 전부를 덮는 보호층을 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법을 이용하는 것에 의해, 자기 센서의 제작시 보호층의 두께를 감소시킬 수 있으므로, 센서의 감도를 증가시킬 수 있다.
Related Researcher
  • Author Kim, CheolGi Lab for NanoBio-MatErials & SpinTronics(nBEST)
  • Research Interests Magnetic Materials and Spintronics; Converging Technology of Nanomaterials and Biomaterials; Bio-NEMS;MEMS
Files:
There are no files associated with this item.
Collection:
Department of Physics and ChemistryLab for NanoBio-Materials & SpinTronics(nBEST)3. Patents


qrcode mendeley

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE