유연 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법
- Title
- 유연 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법
- Country
- KO
- Application Date
- 2011-07-19
- Application No.
- 10-2011-0071344
- Registration Date
- 2013-02-08
- Publication No.
- 10-1233662
- Abstract
- 자성다층 박막을 유연성을 갖는 필름에 증착 및 패터닝 하여 형성된 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 유연 기판, 상기 유연 기판상에 마련된 전극층, 상기 유연 기판과 전극층상에 형성된 자기 센서층 및 상기 자성층의 일부 및 자기 센서층의 전부를 덮는 보호층을 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 박막 자기저항 센서 및 그 제조 방법을 이용하는 것에 의해, 자기 센서의 제작시 보호층의 두께를 감소시킬 수 있으므로, 센서의 감도를 증가시킬 수 있다.
- Related Researcher
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Kim, CheolGi
- Research Interests Magnetic Materials and Spintronics; Converging Technology of Nanomaterials and Biomaterials; Bio-NEMS;MEMS
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- Appears in Collections:
- Department of Physics and Chemistry Lab for NanoBio-Materials & SpinTronics(nBEST) 3. Patents
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