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고감도 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서 및 그 제조방법

Title
고감도 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서 및 그 제조방법
Translated Title
HIGHLY SENSITIVE FIELD EFFECT TRANSISTOR TYPE BIO SENSOR AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Inventors
정상원이수근류홍근손영수김현철
DGIST Inventors
정상원이수근류홍근김현철
Country
KO
Application Date
2006-04-19
Application No.
10-2006-0035343
Registration Date
2007-09-10
Registration No.
10-0758822
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8197
https://doi.org/10.8080/1020060035343KIPRIS
Abstract
본 발명은 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 기판의 형상을 구조적으로 변경하여 소자의 구동 전류 및 바이오 감지 타겟 물질과의 물리적 접촉 면적을 증가시키고 전기적 성능을 향상시킨 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 반도체 기판 위에 적층된 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 위에 형성된 게이트 전극; 상기 게이트 절연막과 접촉하며 양측에 형성된 소스 및 드레인 영역; 및 상기 게이트 전극 위에 형성된 바이오 감지막을 포함하는 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서에 있어서, 상기 반도체 기판은 선정된(predetermined) 하나 이상의 요철부가 형성된 것을 특징으로 하는 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서를 제공한다. 본 발명에 의하면, 전계 효과 트랜지스터형 바이오센서의 반도체 기판 형상의 구조적 개선하여 전기적 성능의 향상을 통해 높은 S/N비(신호 대 잡음비)를 구현하여 재현성 및 그 정확도를 높일 수 있다.
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Collection:
Magnet-Controlled Materials Research Group3. Patents
Smart Textile Convergence Research Group3. Patents
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