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다공성 CZTS계 박막의 제조방법

Title
다공성 CZTS계 박막의 제조방법
Translated Title
Porous CZTS-based thin fiom and Its manufacturing method
Inventors
박시내김대환강진규성시준
DGIST Inventors
김대환강진규; 성시준
Country
KO
Application Date
2014-09-25
Application No.
10-2014-0128425
Registration Date
2015-12-31
Registration No.
10-1583361
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8573
https://doi.org/10.8080/1020140128425KIPRIS
Abstract
본 발명은 구리 전구체, 아연 전구체, 주석 전구체 및 황 또는 셀레늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체와 용매를 혼합하여 CZTS계 전구체 용액을 제조하는 단계(단계 1); 상기 전구체 용액을 기판 상에 코팅하는 단계(단계 2); 상기 코팅된 박막을 200 내지 400 ℃의 온도에서 전열처리하는 단계(단계 3); 및 상기 전열처리된 박막을 500 내지 600 ℃의 온도로 황 또는 셀레늄으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 가스분위기에서 열처리하는 단계(단계 4);를 포함하며, 상기 단계 1의 용매는 초순수 또는 초순수와 알코올계 용매가 혼합된 혼합용매이며, 상기 혼합용매 중 초순수의 부피비율은 70 부피% 이상 100 부피% 미만인 것을 특징으로 하는 다공성 CZTS계 박막 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 다공성 CZTS계 박막 제조방법에 있어서, 전열처리 및 후 열처리를 통해 온도와 시간에 따라 박막의 모폴로지, 결정립 크기 및 다공성 조절이 용이하여 태양전지의 특성을 조절할 수 있는 효과가 있다.
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Convergence Research Center for Solar Energy3. Patents


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