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실리콘 와이어 구조체의 제조방법
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- Title
- 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
- Alternative Title
- Fabricating method of silicon wire structure
- Country
- KO
- Application Date
- 2010-08-12
- Application No.
- 10-2010-0077669
- Registration Date
- 2013-05-09
- Publication No.
- 10-1264877
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
실리콘 웨이퍼 위에 마스크층을 패터닝하는 단계; 상기 마스크층으로 덮이지 않은 상기 실리콘 웨이퍼의 일부를 금속촉매 화학적 식각하는 단계; 상기 금속촉매 화학적 식각 이후 상기 실리콘 웨이퍼로부터 잔존 금속을 제거하는 단계; 상기 잔존 금속 제거 이후 상기 마스크층을 제거하여 에치 피트가 형성된 실리콘 웨이퍼를 얻는 단계; 및 상기 에치 피트가 형성된 상기 실리콘 웨이퍼를 전기화학적 식각 처리하여 실리콘 와이어 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법이 제공된다.
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