실리콘 웨이퍼 위에 마스크층을 패터닝하는 단계; 상기 마스크층으로 덮이지 않은 상기 실리콘 웨이퍼의 일부를 금속촉매 화학적 식각하는 단계; 상기 금속촉매 화학적 식각 이후 상기 실리콘 웨이퍼로부터 잔존 금속을 제거하는 단계; 상기 잔존 금속 제거 이후 상기 마스크층을 제거하여 에치 피트가 형성된 실리콘 웨이퍼를 얻는 단계; 및 상기 에치 피트가 형성된 상기 실리콘 웨이퍼를 전기화학적 식각 처리하여 실리콘 와이어 어레이를 형성하는 단계를 포함하는 실리콘 와이어 구조체의 제조방법이 제공된다.
