ＣＺＴＳ계 태양전지용 박막의 제조방법 및 이를 통해 제조된 박막을 포함하는 CZTS계 태양전지

Abstract

본 발명은 CZTS계 태양전지용 박막의 제조방법으로서, (a) 기판을 준비하는 단계; (b) 기판 위에 구리 전구체, 아연 전구체, 주석 전구체 및 VI족 원소의 전구체를 함유하는 CZTS계 광흡수층 전구체를 증착하여 전구체층을 형성하는 단계; 및 (c) 전구체층을 열처리하여 광흡수층을 제조하는 단계를 포함하고, 상기 열처리는 VI족 원소의 추가적인 공급이 없이 진행되고, 열처리시 열에너지가 기판 후면으로부터 전구체층으로 전달되도록 하는 방법에 관한 것이다.