Cited time in webofscience Cited time in scopus

다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법

Title
다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
Alternative Title
Fabricating method of multi-diameter silicon wire structure
Author(s)
최호진장환수김재현백성호
Country
KO
Application Date
2011-03-31
Application No.
10-2011-0029666
Registration Date
2012-07-03
Publication No.
10-1164113
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8827 10-2011-0029666
Abstract
실리콘 기판 표면에 에칭 마스크를 패터닝하는 단계; 및 상기 에칭 마스크가 패터닝된 상기 실리콘 기판 표면에 대해 화학적 에칭을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 화학적 에칭은 식각 용액의 조성, 식각 시간, 식각 용액의 온도로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 공정 조건을 연속적으로 변화시켜 수행함으로써, 길이 방향의 직경이 변하는 실리콘 와이어를 형성하는 다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법이 제공된다.
Related Researcher
  • 김재현 Kim, Jae Hyun
  • Research Interests 에너지; 배터리; 고체전해질; 태양전지; 전기차; 리튬이온배터리
Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Appears in Collections:
Division of Energy Technology 3. Patents

qrcode

  • twitter
  • facebook
  • mendeley

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE