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다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
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- Title
- 다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법
- Alternative Title
- Fabricating method of multi-diameter silicon wire structure
- Country
- KO
- Application Date
- 2011-03-31
- Application No.
- 10-2011-0029666
- Registration Date
- 2012-07-03
- Publication No.
- 10-1164113
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
실리콘 기판 표면에 에칭 마스크를 패터닝하는 단계; 및 상기 에칭 마스크가 패터닝된 상기 실리콘 기판 표면에 대해 화학적 에칭을 수행하는 단계를 포함하되, 상기 화학적 에칭은 식각 용액의 조성, 식각 시간, 식각 용액의 온도로 이루어진 군 중에서 선택되는 어느 하나의 공정 조건을 연속적으로 변화시켜 수행함으로써, 길이 방향의 직경이 변하는 실리콘 와이어를 형성하는 다직경 실리콘 와이어 구조체의 제조방법이 제공된다.
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