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박막 태양전지 제조 장치 및 이를 이용한 열처리 공정 방법

Title
박막 태양전지 제조 장치 및 이를 이용한 열처리 공정 방법
Translated Title
A Processing Apparatus for Manufacturing Thin Film Solar Cell and Method for Thermal Processing using the same
Inventors
손대호김영일양기정심준형
DGIST Inventors
양기정
Country
KO
Application Date
2016-09-26
Application No.
10-2016-0123156
Registration Date
2017-09-12
Registration No.
10-1779508
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8860
https://doi.org/10.8080/1020160123156KIPRIS
Abstract
본 발명은 화합물 박막 태양전지 제조 장치 및 이를 이용한 열처리 공정 방법에 관한 것이다. 금속/ 금속-화합물 물질로 구성하고 있는 전구체를 셀렌화 및 황화 열처리 제조 시스템를 통하여 4원계 이상 화합물 흡수층 제작 열처리 공정 방법에 관한 것이다. 본 발명의 태양전지 제조 장치는 가압 챔버, 밀폐된 가압 챔버 내부에 결합되는 셀렌화 및 황화 열처리 트레이 및 기판 트레이로 구성되어 있으며, 보다 효율 적으로 열전달 및 화합물 결정 성장을 위한 열전달 플랭크가 배치되었다. 상기 트레이는 보다 효율적으로 칼코젠 원소를 효율적으로 공급함으로써 셀렌/황화 원소 비율이 조절이 용이하고, 셀레늄 및 황 증기와 불활성 기체를 챔버 내부에서 가열하여 열처리 공정시 전구체의 박막 결정 형성을 극대화 할 수 있다.
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Collection:
Convergence Research Center for Solar Energy3. Patents


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