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2023-05-11
기능성 나노입자의 MEMS 소자 융합을 위한 초정밀 정전문무 공정 시뮬레이션 및 실험적 검증연구
박경준
;
장일류
;
김회준
대한기계학회 마이크로/나노공학부문 2023년 춘계학술대회, pp.88, 2023-05-11
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