Cited 0 time in webofscience Cited 0 time in scopus

칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법

Title
칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법
Translated Title
CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT APPARATUS AND CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT METHOD
Inventors
손대호김영일전동환성시준양기정황대규강진규김대환
DGIST Inventors
손대호; 전동환; 성시준양기정황대규강진규김대환
Country
KO
Application Date
2017-07-28
Application No.
10-2017-0096461
Registration Date
2019-05-07
Registration No.
10-1978040
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/11356
https://doi.org/10.8080/1020170096461 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐화 열처리 장치는 기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지; 일 면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽; 상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부; 및 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부;를 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 칼코겐 담지부를 포함한다.
Related Researcher
  • Author Sung, Shi-Joon  
  • Research Interests Compound Semiconductor Materials & Processes
Files:
There are no files associated with this item.
Collection:
Division of Energy Technology3. Patents


qrcode mendeley

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE