Cited time in webofscience Cited time in scopus

칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법

Title
칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법
Alternative Title
CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT APPARATUS AND CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT METHOD
Author(s)
손대호김영일전동환성시준양기정황대규강진규김대환
Country
KO
Application Date
2017-07-28
Application No.
10-2017-0096461
Registration Date
2019-05-07
Publication No.
10-1978040
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/11356 10-2017-0096461
Abstract
본 발명은 칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐화 열처리 장치는 기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지; 일 면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽; 상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부; 및 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부;를 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 칼코겐 담지부를 포함한다.
Related Researcher
  • 성시준 Sung, Shi-Joon
  • Research Interests Thin Film Solar Cells; 박막태양전지; Compound Semiconductor Materials & Processes; 화합물 반도체 재료 및 공정; Optoelectronic Devices based on Micro-Optical Structures; 미세 광학 구조 기반 광전자소자; Organic/Inorganic/Metallic Hybrid Thin Films & Applications; 유무기금속 하이브리드 박막
Files in This Item:

There are no files associated with this item.

Appears in Collections:
Division of Energy & Environmental Technology 3. Patents

qrcode

  • twitter
  • facebook
  • mendeley

Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

BROWSE