칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법
- Title
- 칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법
- Alternative Title
- CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT APPARATUS AND CHALCOGENIZATION HEAT TREATMENT METHOD
- Country
- KO
- Application Date
- 2017-07-28
- Application No.
- 10-2017-0096461
- Registration Date
- 2019-05-07
- Publication No.
- 10-1978040
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
- 본 발명은 칼코겐화 열처리 장치 및 칼코겐화 열처리 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐화 열처리 장치는 기판을 지지하고, 상부 방향으로 칼코겐화 반응이 일어나는 반응 영역을 형성하는 스테이지; 일 면이 상기 반응 영역을 마주하도록 배치된 내벽; 상기 반응 영역 상에 배치된 칼코겐부; 및 상기 스테이지 및 칼코겐부를 가열하는 가열부;를 포함하고, 상기 칼코겐부는 몸체, 상기 반응 영역으로 상기 몸체의 일부가 연통되어 형성된 가스 통로 및 상기 몸체의 일부에 배치되고 칼코겐 물질을 담지하는 칼코겐 담지부를 포함한다.
- Related Researcher
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Sung, Shi-Joon
- Research Interests Compound Semiconductor Materials & Processes
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- Appears in Collections:
- Division of Energy Technology 3. Patents
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