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다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법

Title
다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법
Translated Title
CHALCOGENIDE EVAPORATION APPARATUS COMPRISING POROUS MEMBER AND CHACOGENIZATION METHOD
Inventors
이상주심준형김대환안광석양기정김삼미손대호김세윤강진규
DGIST Inventors
이상주; 심준형; 김대환; 안광석; 양기정; 김삼미; 손대호; 김세윤; 강진규
Country
KO
Application Date
2018-05-14
Application No.
10-2018-0054945
Registration Date
2020-12-18
Registration No.
10-2195281
Assignee
재단법인대구경북과학기술원
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/13250
https://doi.org/10.8080/1020180054945 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐 증착 장치는 액화된 칼코겐 소스를 수용하면서 외부 표면으로 기화된 칼코겐 소스를 방출할 수 있는 다공성 부재를 포함한다.
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