다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법

Abstract

본 발명은 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐 증착 장치는 액화된 칼코겐 소스를 수용하면서 외부 표면으로 기화된 칼코겐 소스를 방출할 수 있는 다공성 부재를 포함한다.