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- Title
- 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법
- Alternative Title
- CHALCOGENIDE EVAPORATION APPARATUS COMPRISING POROUS MEMBER AND CHACOGENIZATION METHOD
- Country
- KO
- Application Date
- 2018-05-14
- Application No.
- 10-2018-0054945
- Registration Date
- 2020-12-18
- Publication No.
- 10-2195281
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 다공성 부재를 포함하는 칼코겐 증착 장치 및 칼코겐화 방법에 관한 것이고, 본 발명의 실시 예를 따르는 칼코겐 증착 장치는 액화된 칼코겐 소스를 수용하면서 외부 표면으로 기화된 칼코겐 소스를 방출할 수 있는 다공성 부재를 포함한다.
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