개시된 본 발명에 의한 입자 측정장치는, 압전 물질로 마련된 베이스에 패터닝되어 신호를 상호 송수신하는 제1 및 제2전극을 포함하여, 제1 및 제2전극 사이에서 송수신되는 신호 변화로 입자의 질량을 측정하는 측정부 및, 제1 및 제2전극 사이에 마련된 흡착 영역에 마련되어, 온도 변화에 따라 미세 입자를 흡착하는 흡착부를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 높은 흡착율을 가지면서도 압전 물질의 공진율을 간섭하지 않음으로써, 입자 측정 품질이 우수하다.
