물질 계측 센서, 물질 계측 시스템 및 물질 계측 방법
- Title
- 물질 계측 센서, 물질 계측 시스템 및 물질 계측 방법
- Alternative Title
- Material Instrumentation Sensor, Material Instrumentation System and Material Instrumentation Method
- Country
- KO
- Application Date
- 2021-03-05
- Application No.
- 10-2021-0029183
- Registration Date
- 2023-03-15
- Publication No.
- 2511788
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
- 본 발명은, 입자 물질 계측 장치 및 시스템, 방법에 관한 것으로, 구체적으로 센싱 영역(150)을 포함하는 압전 기판(100), 및 상기 압전 기판(100)의 일면에 구비된 제 1 내지 n 전극 모듈(200)을 포함하고, 상기 제 1 내지 n 전극 모듈(200) 각각은 상기 센싱 영역(150)을 중심으로 서로 대향되고, 간극이 동일한 빗살형 전극 쌍인 제 1 및 2 빗살 전극를 포함하며, 다중 공진 주파수를 발생하여 계측 대상물의 다양한 물성을 측정할 수 있는 것을 특징으로 하는 입자 물질 계측 장치 및 시스템, 방법에 관한 것이다.
- Related Researcher
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Kim, Hoe Joon
- Research Interests MEMS/NEMS; Micro/Nano Sensors; Piezoelectric Devices; Nanomaterials; Heat Transfer; Atomic Force Microscope
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- Appears in Collections:
- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Nano Materials and Devices Lab 3. Patents
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