Department of Electrical Engineering and Computer Science Advanced Electronic Devices Research Group(AEDRG) - Kwon Lab. 3. Patents
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모놀리식 3차원 집적 구조, 및 이의 제조 방법

Title
모놀리식 3차원 집적 구조, 및 이의 제조 방법
Alternative Title
MONOLITHIC 3-DIMENSIONAL INTEGRATION STRUCURE, AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Author(s)
권혁준 ; 백승훈 ; 정희재
Country
KO
Application Date
2021-11-16
Application No.
10-2021-0157335
Registration Date
2023-10-26
Publication No.
10-2596333
Assignee
재단법인대구경북과학기술원
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/46620 10-2021-0157335
Abstract
모놀리식 3차원 집적 구조는 반도체 소자를 포함하는 하부 소자층, 상기 하부 소자층 상에 형성되는 층간 유전체, 및 상기 층간 유전체 상에 형성되는 상부 소자층을 포함한다. 상기 상부 소자층은 단결정 실리콘 박막을 포함한다. 상기 단결정 실리콘 박막은 도넛 형상 레이저가 비정질 실리콘 박막에 조사되어 상기 비정질 실리콘 박막이 결정화되는 레이저 결정화 방식에 의해 형성된다. 상기 도넛 형상 레이저의 도넛 형상은 소정의 두께를 가지는 원형 링 형상의 레이저 영역, 및 상기 레이저 영역 내부의 동심 원 형상의 결정화 영역을 포함한다.
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