Department of Electrical Engineering and Computer Science
Advanced Electronic Devices Research Group(AEDRG) - Kwon Lab.
3. Patents
산소 조성비가 다른 복수의 금속산화물 박막을 포함하는 가스센서 어레이, 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 가스 센싱 방법
- Title
- 산소 조성비가 다른 복수의 금속산화물 박막을 포함하는 가스센서 어레이, 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 가스 센싱 방법
- Alternative Title
- GAS SENSOR ARRAY INCLUDING A PLURALITY OF METAL OXIDE THIN FILMS HAVING DIFFERENT OXYGEN COMPOSITION RATIO, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD OF SENSING GAS USING THE SAME
- Country
- KO
- Application Date
- 2021-11-11
- Application No.
- 10-2021-0154989
- Registration Date
- 2023-12-14
- Publication No.
- 10-2615548
- Assignee
- 재단법인대구경북과학기술원
- Abstract
- 가스센서 어레이는 기판, 및 상기 기판 상에 형성된 복수의 가스센서를 포함한다. 상기 복수의 가스센서 각각은 한 쌍의 전극 패턴, 및 상기 한 쌍의 전극 패턴과 전기적으로 연결되는 금속산화물 박막을 포함한다. 상기 복수의 가스센서 중 적어도 하나에 포함된 상기 금속산화물 박막은, 상기 복수의 가스센서 중 다른 하나에 포함된 상기 금속산화물 박막과 동일한 금속을 포함하고, 다른 산소 조성비를 가질 수 있다. 가스센서 어레이에 의하면, 동일한 금속을 포함하고, 다른 산소 조성비를 가지는 금속산화물 박막을 이용하여 가스를 센싱함으로써, 동일 가스에 대해서 정확도가 높은 가스 농도 측정이 가능할 수 있다.
- Related Researcher
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Kwon, Hyuk-Jun
- Research Interests
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