산소 조성비가 다른 복수의 금속산화물 박막을 포함하는 가스센서 어레이, 이의 제조 방법, 및 이를 이용한 가스 센싱 방법

Abstract

가스센서 어레이는 기판, 및 상기 기판 상에 형성된 복수의 가스센서를 포함한다. 상기 복수의 가스센서 각각은 한 쌍의 전극 패턴, 및 상기 한 쌍의 전극 패턴과 전기적으로 연결되는 금속산화물 박막을 포함한다. 상기 복수의 가스센서 중 적어도 하나에 포함된 상기 금속산화물 박막은, 상기 복수의 가스센서 중 다른 하나에 포함된 상기 금속산화물 박막과 동일한 금속을 포함하고, 다른 산소 조성비를 가질 수 있다. 가스센서 어레이에 의하면, 동일한 금속을 포함하고, 다른 산소 조성비를 가지는 금속산화물 박막을 이용하여 가스를 센싱함으로써, 동일 가스에 대해서 정확도가 높은 가스 농도 측정이 가능할 수 있다.