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dc.contributor.author 신희원 ko
dc.contributor.author 이동훈 ko
dc.contributor.author 김황주 ko
dc.contributor.author 박미선 ko
dc.contributor.author 장연숙 ko
dc.contributor.author 이원재 ko
dc.contributor.author 김정곤 ko
dc.contributor.author 정성민 ko
dc.contributor.author 이명현 ko
dc.contributor.author 서원선 ko
dc.date.accessioned 2018-01-24T02:01:09Z -
dc.date.available 2018-01-24T02:01:09Z -
dc.date.created 2018-01-17 -
dc.date.issued 2016 -
dc.identifier.citation 한국결정성장학회지, v.26, no.1, pp.49 - 52 -
dc.identifier.issn 1225-1429 -
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/20.500.11750/4889 -
dc.description.abstract 본 연구에서는 AlN 결정 성장시 중요한 공정변수 중의 하나인 성장 압력과 온도 조건에 따라 다르게 성장되는AlN 결정상의 결과에 대하여 고찰하였다. AlN 결정 성장은 6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT(Physical Vapor Transport) 법을 적용하여 성장시켰다. 성장 압력과 온도에 따라 AlN 결정의 특성이 변화하였고, Raman 분석을 통해 다양한 방향을갖는 AlN 결정이 SiC 종자 결정 위에 성장되는 것을 확인하였다. -
dc.language Korean -
dc.publisher 한국결정성장학회 -
dc.title 6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구 -
dc.title.alternative Crystal structure investigation of AlN crystal grown on 6H-SiC seed by a physical vapor transport method -
dc.type Article -
dc.identifier.doi 10.6111/JKCGCT.2016.26.1.049 -
dc.identifier.wosid 000383445900009 -
dc.type.local Article(Domestic) -
dc.type.rims ART -
dc.description.journalClass 2 -
dc.identifier.kciid ART002081678 -
dc.contributor.nonIdAuthor 신희원 -
dc.contributor.nonIdAuthor 이동훈 -
dc.contributor.nonIdAuthor 김황주 -
dc.contributor.nonIdAuthor 박미선 -
dc.contributor.nonIdAuthor 장연숙 -
dc.contributor.nonIdAuthor 이원재 -
dc.contributor.nonIdAuthor 정성민 -
dc.contributor.nonIdAuthor 이명현 -
dc.contributor.nonIdAuthor 서원선 -
dc.identifier.citationVolume 26 -
dc.identifier.citationNumber 1 -
dc.identifier.citationStartPage 49 -
dc.identifier.citationEndPage 52 -
dc.identifier.citationTitle 한국결정성장학회지 -
dc.type.journalArticle Article -
dc.description.isOpenAccess N -
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