본 발명은 아연티타늄 산화물(ZnxTiyO) 복합막의 제조 방법 및 이를 통해 제조된 아연티타늄 산화물(ZnxTiyO) 복합막을 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 아연티타늄 산화물(ZnxTiyO) 복합막의 제조 방법은 기판 상에 제1 서브 사이클을 이용하여 티타늄 산화물막을 형성하는 단계; 상기 티타늄 산화물막 상에 제2 서브 사이클을 이용하여 아연 산화물막을 형성하는 단계; 상기 제1 서브 사이클 및 상기 제2 서브 사이클은 복수회 반복 진행하여 티타늄 산화물막/아연 산화물막 적층 구조물을 형성하는 단계; 및 상기 티타늄 산화물막/아연 산화물막 적층 구조물을 열처리하여 아연티타늄 산화물(ZnxTiyO) 복합막을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
