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이종접합 구조의 전이금속 디칼코게나이드의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 이종접합 구조의 전이금속 디칼코게나이드
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dc.contributor.author 노현열 -
dc.contributor.author 김선국 -
dc.contributor.author 이지은 -
dc.contributor.author 심준오 -
dc.contributor.author 권혁준 -
dc.date.accessioned 2025-12-01T02:10:15Z -
dc.date.available 2025-12-01T02:10:15Z -
dc.identifier.uri https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/59245 -
dc.description.abstract 본 발명은 이종접합 구조의 전이금속 디칼코게나이드의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 이종접합 구조의 전이금속 디칼코게나이드를 개시한다. 본 발명은 기판 상에 제1 칼코겐 물질을 포함하는 칼코겐 박막을 형성하는 단계; 상기 칼코겐 박막 상에 전이금속 박막을 형성하는 단계; 상기 기판에서 전이금속 박막 방향으로 레이저를 조사하여 제1 전이금속 디칼코게나이드 박막을 제조하는 단계; 및 상기 전이금속 박막 상에 제2 칼코겐 물질을 포함하는 반응성 가스를 주입하여 제2 전이금속 디칼코게나이드 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다. -
dc.title 이종접합 구조의 전이금속 디칼코게나이드의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 이종접합 구조의 전이금속 디칼코게나이드 -
dc.title.alternative Method for producing transition metal dichalcogenide with heterojunction structure and transition metal dichalcogenide with heterojunction structure manufactured using the same -
dc.type Patent -
dc.publisher.country KO -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2023-0156508 -
dc.date.application 2023-11-13 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-2883211 -
dc.date.registration 2025-11-04 -
dc.contributor.assignee (재)대구경북과학기술원(50/50),성균관대학교 산학협력단(50/50) -
dc.type.iprs 특허 -
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권혁준
Kwon, Hyuk-Jun권혁준

Department of Electrical Engineering and Computer Science

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