DGIST Scholar: 레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용

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Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 1. Journal Articles

레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용

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Title: 레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용

DGIST Authors: 이승민 ; 김상원 ; 최홍수

Issued Date: 2017-01

Citation: 이승민. (2017-01). 레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용.

Type: Article

ISSN: 1226-7287

Abstract: 이 글에서는 레이저 기반 포토리소그래피 공정에 대해서 소개하고, 최근 각광받고 있는 3차원 레이저 포토리소그래피 시스템 및 이를 이용한 마이크로 스케일의 3차원 구조물 제작 방법과 응용에 대해 소개하고자 한다.
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URI: http://hdl.handle.net/20.500.11750/6547
http://www.dbpia.co.kr/Journal/ArticleDetail/NODE07088780

Publisher: 대한기계학회

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