레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용
- Title
- 레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용
- Issued Date
- 2017-01
- Type
- Article
- ISSN
- 1226-7287
- Abstract
- 이 글에서는 레이저 기반 포토리소그래피 공정에 대해서 소개하고, 최근 각광받고 있는 3차원 레이저 포토리소그래피 시스템 및 이를 이용한 마이크로 스케일의 3차원 구조물 제작 방법과 응용에 대해 소개하고자 한다.
- URI
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http://hdl.handle.net/20.500.11750/6547
http://www.dbpia.co.kr/Journal/ArticleDetail/NODE07088780
- Publisher
- 대한기계학회
- Related Researcher
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Choi, Hongsoo
- Research Interests Micro/Nano robot; Neural prostheses; MEMS; BMI; MEMS/NEMS; BioMEMS; MEMS 초음파 트랜스듀스; 인공와우
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- Appears in Collections:
- Department of Robotics and Mechatronics Engineering Bio-Micro Robotics Lab 1. Journal Articles
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