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레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용

Title
레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용
Authors
이승민김상원최홍수
DGIST Authors
최홍수
Issue Date
2017-01
Citation
기계저널(Journal of the KSME), 57(1), 42-45
Type
Article
ISSN
1226-7287
Abstract
이 글에서는 레이저 기반 포토리소그래피 공정에 대해서 소개하고, 최근 각광받고 있는 3차원 레이저 포토리소그래피 시스템 및 이를 이용한 마이크로 스케일의 3차원 구조물 제작 방법과 응용에 대해 소개하고자 한다.
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/6547
Publisher
대한기계학회
Related Researcher
  • Author Choi, Hongsoo Bio-Micro Robotics Lab
  • Research Interests Micro/Nano robot; Neural prostheses; MEMS; BMI; MEMS/NEMS; BioMEMS; MEMS 초음파 트랜스듀스; 인공와우
Files:
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Collection:
Department of Robotics EngineeringBio-Micro Robotics Lab1. Journal Articles


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