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태양전지용 CZTS/CZTSe계 박막 및 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 CZTS/CZTSe계 박막
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- Title
- 태양전지용 CZTS/CZTSe계 박막 및 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 CZTS/CZTSe계 박막
- Alternative Title
- PREPARATION METHOD OF CZTS/CZTSe-BASED THIN FILM AND CZTS/CZTse-BASED THIN FILM PREPARED BY THE SAME
- Country
- KO
- Application Date
- 2014-08-18
- Application No.
- 10-2014-0107167
- Registration Date
- 2016-09-06
- Publication No.
- 10-1656842
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 (a) Cu, Zn 및 Sn을 동시진공증발법으로 기판에 증착하는 단계; (b) 단계 (a)에서 증착된 박막에 S, Se 또는 S 및 Se을 증착하는 단계; 및 (c) 열처리 단계를 포함하는 CZTS/CZTSe계 박막의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 의하는 경우 박막 내의 Sn의 소실을 최소화하고, 열처리 시 VI 족 원소를 별도를 공급할 필요가 없으므로, 공정의 비용이 절감되는 이점이 있다.
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