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패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극 제조방법 및 이에 따라 제조되는 패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극

Title
패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극 제조방법 및 이에 따라 제조되는 패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극
Alternative Title
The method for manufacturing patterned metal nanowire transparent electrode and the patterned metal nanowire transparent electrode thereby
Author(s)
우성호김욱현
DGIST Authors
우성호김욱현
Country
KO
Application Date
2013-10-01
Application No.
10-2013-0117565
Registration Date
2015-04-17
Publication No.
10-1514743
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8675 10-2013-0117565
Abstract
본 발명은 패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극 제조방법 및 이에 따라 제조되는 패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극에 관한 것으로, 상세하게는 기판 상에 SiO2 패턴을 형성하는 단계(단계 1); 상기 단계 1의 SiO2패턴 상에 금속 시드(seed) 층을 형성하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2의 금속 시드 층으로부터 환원제 및 금속 전구체가 포함된 용액을 이용하여 나노와이어를 성장시키는 단계(단계 3);를 포함하는 패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극 제조방법 및 이에 따라 제조되는 패턴이 형성된 금속 나노와이어 투명전극을 제공한다. 본 발명은 SiO2로 패턴된 기판상에 금속 시드(seed)층을 형성하여 금속 나노와이어를 성장시킴으로써, 종래 금속 나노와이어를 먼저 합성하고 이를 코팅 후 패터닝 하던 것과 달리, 복잡하고 어려운 공정이 요구되지 않아 간편하며 제작 비용이 감소하는 효과가 있다. 또한, 기판 상에서 직접 나노 와이어가 합성되므로, 기판과 나노 와이어간의 접착성이 증대될 수 있다.
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