그리퍼 시스템

Abstract

본 발명의 일 실시예는, 객체를 파지하기 위한 그리퍼 시스템에 있어서, 복수의 미세유로들이 형성된 파지면을 구비하는 한 쌍의 파지부, 상기 한 쌍의 파지부를 구동시키는 구동부, 상기 복수의 미세유로들과 연결되어 유체를 공급하는 유체 펌프 및 상기 한 쌍의 파지부가 상기 객체를 파지하도록 상기 구동부를 제어하거나, 상기 파지면으로 공급되는 상기 유체의 양을 조절하도록 상기 유체 펌프를 제어하는 제어부를 포함하는, 그리퍼 시스템을 제공한다.