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레이저 공정으로 형성된 나노-섬 구조체를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조 방법
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dc.contributor.author 정희재 -
dc.contributor.author 권혁준 -
dc.contributor.author 백승훈 -
dc.date.accessioned 2025-04-01T02:10:14Z -
dc.date.available 2025-04-01T02:10:14Z -
dc.identifier.uri http://hdl.handle.net/20.500.11750/58182 -
dc.description.abstract 전자 소자는 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 형성된 나노-섬 구조체, 및 상기 나노-섬 구조체 상에 형성된 제2 금속층을 포함할 수 있다. 상기 나노-섬 구조체는 상기 베이스 기판 상에 증착된 제1 금속층에 펄스 레이저가 조사됨으로써 형성될 수 있다. 상기 펄스 레이저는 에너지 밀도 및 스캐닝 속도가 제어됨으로써, 상기 베이스 기판 상에 형성되는 상기 나노-섬 구조체의 크기를 조절하는 것을 특징으로 수 있다. -
dc.title 레이저 공정으로 형성된 나노-섬 구조체를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조 방법 -
dc.title.alternative ELECTRONIC DEVICE INCLUDING NANO-ISLAND STRUCTURE FORMED BY LASER PROCESS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME -
dc.type Patent -
dc.identifier.bibliographicCitation 정희재. 레이저 공정으로 형성된 나노-섬 구조체를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조 방법. -
dc.publisher.country KO -
dc.identifier.patentApplicationNumber 10-2022-0067441 -
dc.date.application 2022-06-02 -
dc.identifier.patentRegistrationNumber 10-2774712 -
dc.date.registration 2025-02-25 -
dc.contributor.assignee (재)대구경북과학기술원(100/100) -
dc.type.iprs 특허 -
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