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  Department of Electrical Engineering and Computer Science Advanced Electronic Devices Research Group(AEDRG) - Kwon Lab. 3. Patents
레이저 공정으로 형성된 나노-섬 구조체를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조 방법
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Title
레이저 공정으로 형성된 나노-섬 구조체를 포함하는 전자 소자 및 이의 제조 방법
Alternative Title
ELECTRONIC DEVICE INCLUDING NANO-ISLAND STRUCTURE FORMED BY LASER PROCESS AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME
Country
KO
Application Date
2022-06-02
Application No.
10-2022-0067441
Registration Date
2025-02-25
Publication No.
10-2774712
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/58182 10-2022-0067441
Abstract
전자 소자는 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 형성된 나노-섬 구조체, 및 상기 나노-섬 구조체 상에 형성된 제2 금속층을 포함할 수 있다. 상기 나노-섬 구조체는 상기 베이스 기판 상에 증착된 제1 금속층에 펄스 레이저가 조사됨으로써 형성될 수 있다. 상기 펄스 레이저는 에너지 밀도 및 스캐닝 속도가 제어됨으로써, 상기 베이스 기판 상에 형성되는 상기 나노-섬 구조체의 크기를 조절하는 것을 특징으로 수 있다.
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Kwon, Hyuk-Jun권혁준

Department of Electrical Engineering and Computer Science

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