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온도 분석 방법 및 이에 사용되는 온도 센서
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- Title
- 온도 분석 방법 및 이에 사용되는 온도 센서
- Alternative Title
- TEMPERATURE ANALYSIS METHOD AND TEMPERATURE SENSOR USED THEREFOR
- Country
- KO
- Application Date
- 2023-04-27
- Application No.
- 10-2023-0055188
- Registration Date
- 2025-05-09
- Publication No.
- 10-2807223
- Assignee
- 재단법인대구경북과학기술원
- Abstract
-
본 발명은 온도 분석 방법 및 이에 사용되는 온도 센서를 개시한다. 본 발명은 기판 상에 적어도 하나의 영역에 금속 박막을 형성하는 단계; 상기 금속 박막 상에 광파 열처리 공정을 진행하는 단계; 및 상기 광파 열처리된 금속 박막의 표면을 분석하여 상기 광파 열처리 공정의 온도를 검출하는 단계;를 포함하고, 상기 광파 열처리 공정의 온도에 따라 상기 금속 박막의 표면이 변화되는 것을 특징으로 한다.
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Related Researcher
- Kwon, Hyuk-Jun권혁준
-
Department of Electrical Engineering and Computer Science
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