Detail View
반도체 제조공정에서 발생하는 입자 측정을 위한 입자 저감 시스템 및 그 측정 방법
Citations
WEB OF SCIENCE
Citations
SCOPUS
Metadata Downloads
- Title
- 반도체 제조공정에서 발생하는 입자 측정을 위한 입자 저감 시스템 및 그 측정 방법
- Alternative Title
- PARTICLE ABATEMENT SYSTEM FOR PARTICLE MEASUREMENT FROM SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS AND MEASUREMENT METHOD THEREFOR
- Country
- KO
- Application Date
- 2024-06-18
- Application No.
- 10-2024-0078796
- Registration Date
- 2025-11-24
- Publication No.
- 10-2891767
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
File Downloads
- There are no files associated with this item.
공유
Total Views & Downloads
???jsp.display-item.statistics.view???: , ???jsp.display-item.statistics.download???: