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나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법

Title
나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법
Translated Title
Nano-Micro probe and manufacturing method of the same
Inventors
최홍수전병옥장재은
DGIST Inventors
최홍수; 전병옥; 장재은
Country
KO
Application Date
2014-04-10
Application No.
10-2014-0042963
Registration Date
2016-01-07
Registration No.
10-1585197
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/7803
https://doi.org/10.8080/1020140042963 [KIPRIS]
Abstract
본 발명은 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 굴곡이 있는 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있는 프루브 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로-나노 프루브는, 외력이 작용하는 경우 구부러지는 기판; 상기 기판의 일면에 소정의 간격으로 형성되며, 상기 기판의 구부러짐에 따라 간격이 좁아지거나 넓어지는 적어도 한 쌍의 마이크로 필러; 및 상기 한 쌍의 마이크로 필러 상에 각각 형성되는 나노 니들을 포함한다.
Related Researcher
  • Author Choi, Hongsoo Bio-Micro Robotics Lab
  • Research Interests Micro/Nano robot; Neural prostheses; MEMS; BMI; MEMS/NEMS; BioMEMS; MEMS 초음파 트랜스듀스; 인공와우
Files:
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Collection:
Department of Robotics and Mechatronics EngineeringBio-Micro Robotics Lab3. Patents
Department of Electrical Engineering and Computer ScienceAdvanced Electronic Devices Research Group(AEDRG) - Jang Lab.3. Patents


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