나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법
- Title
- 나노-마이크로 프루브 및 이의 제조방법
- Alternative Title
- Nano-Micro probe and manufacturing method of the same
- Country
- KO
- Application Date
- 2014-04-10
- Application No.
- 10-2014-0042963
- Registration Date
- 2016-01-07
- Publication No.
- 10-1585197
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
- 본 발명은 나노 니들과 마이크로 필러의 복합 구조로 이루어져, 마이크로 단위로 연동하는 장치와 연결이 가능하고, 굴곡이 있는 바이오 분야의 침습용 프루브로 사용할 수 있는 프루브 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 실시 예에 따른 마이크로-나노 프루브는, 외력이 작용하는 경우 구부러지는 기판; 상기 기판의 일면에 소정의 간격으로 형성되며, 상기 기판의 구부러짐에 따라 간격이 좁아지거나 넓어지는 적어도 한 쌍의 마이크로 필러; 및 상기 한 쌍의 마이크로 필러 상에 각각 형성되는 나노 니들을 포함한다.
- Related Researcher
-
-
Choi, Hongsoo
- Research Interests Micro/Nano robot; Neural prostheses; MEMS; BMI; MEMS/NEMS; BioMEMS; MEMS 초음파 트랜스듀스; 인공와우
-
- Files in This Item:
-
There are no files associated with this item.
Items in Repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.