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2차원 물질 및 금속 박막을 포함하는 전자소자 전송선 및 이를 포함하는 마이크로 전자소자의 제조방법
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- Title
- 2차원 물질 및 금속 박막을 포함하는 전자소자 전송선 및 이를 포함하는 마이크로 전자소자의 제조방법
- Alternative Title
- electronic device transmission lines comprising 2D material and metal thin film, and microelectronic devices using the same
- Country
- KO
- Application Date
- 2016-04-05
- Application No.
- 10-2016-0041586
- Registration Date
- 2017-10-31
- Publication No.
- 10-1794318
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(100/100)
- Abstract
-
본 발명은 2차원 물질 및 금속 박막을 포함하는 전자소자 전송선에 관한 것으로, 상세하게는 초고주파의 전기신호를 전송하는 2차원 물질 및 저주파의 전기신호를 전송하는 금속 박막을 포함하며 상기 2차원 물질 및 금속 박막이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 전자소자 전송선에 관한 것으로, 상기 전자소자 전송선을 마이크로 전자소자에 적용함으로써, 초고주파 전송 특성이 현저히 향상된 마이크로 전자소자를 제조할 수 있는 장점이 있다.
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Related Researcher
- Jang, Jae Eun장재은
-
Department of Electrical Engineering and Computer Science
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