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2차원 물질 및 금속 박막을 포함하는 전자소자 전송선 및 이를 포함하는 마이크로 전자소자의 제조방법
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Title
2차원 물질 및 금속 박막을 포함하는 전자소자 전송선 및 이를 포함하는 마이크로 전자소자의 제조방법
Alternative Title
electronic device transmission lines comprising 2D material and metal thin film, and microelectronic devices using the same
Country
KO
Application Date
2016-04-05
Application No.
10-2016-0041586
Registration Date
2017-10-31
Publication No.
10-1794318
Assignee
(재)대구경북과학기술원(100/100)
URI
http://hdl.handle.net/20.500.11750/8670 10-2016-0041586
Abstract
본 발명은 2차원 물질 및 금속 박막을 포함하는 전자소자 전송선에 관한 것으로, 상세하게는 초고주파의 전기신호를 전송하는 2차원 물질 및 저주파의 전기신호를 전송하는 금속 박막을 포함하며 상기 2차원 물질 및 금속 박막이 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 전자소자 전송선에 관한 것으로, 상기 전자소자 전송선을 마이크로 전자소자에 적용함으로써, 초고주파 전송 특성이 현저히 향상된 마이크로 전자소자를 제조할 수 있는 장점이 있다.
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장재은
Jang, Jae Eun장재은

Department of Electrical Engineering and Computer Science

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