터널링 트랜지스터 및 이의 제조 방법

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판 상에 배치된 게이트 전극; 상기 게이트 전극 상에 배치된 제1절연층; 상기 제1절연층 상에 배치되며, 상기 게이트 전극에 의해 발생한 전기장이 통과할 수 있는 적어도 하나의 통로(path)를 포함하는 제1전극; 상기 제1절연층 상에 상기 제1전극을 덮도록 배치된 제2절연층; 및 상기 제2절연층 상에 배치된 제2전극을 포함하는, 터널링 트랜지스터를 제공한다.