Detail View
센싱부를 포함하는 전자 장치 및 상기 전자 장치의 제조 방법
Citations
WEB OF SCIENCE
Citations
SCOPUS
Metadata Downloads
- Title
- 센싱부를 포함하는 전자 장치 및 상기 전자 장치의 제조 방법
- Alternative Title
- SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE
- Country
- KO
- Application Date
- 2020-08-24
- Application No.
- 10-2020-0106020
- Registration Date
- 2025-05-14
- Publication No.
- 10-2809498-00-00
- Assignee
- (재)대구경북과학기술원(50/0),(주)삼성전자(50/100)
- Abstract
-
센싱부를 포함하는 전자 장치 및 이에 대한 제조 방법이 제공된다. 상기 전자 장치에 있어서, 센싱부는, 기판, 상기 기판의 적어도 일부를 덮고, 금속물을 포함하는 금속막, 및 상기 금속막 내에서 제1 방향 또는 제1 방향과 상이한 제2 방향으로 연장되고, 상기 금속물의 금속 산화물을 포함하는 금속 산화막을 포함하고, 상기 금속 산화막의 측벽의 두께는 상기 기판과 가까울수록 작아지고, 상기 금속 산화막의 상면, 바닥면 각각은 상기 금속막의 각각의 상면, 바닥면과 동일 평면이다.
더보기
File Downloads
- There are no files associated with this item.
공유
Related Researcher
- Kwon, Hyuk-Jun권혁준
-
Department of Electrical Engineering and Computer Science
Total Views & Downloads
???jsp.display-item.statistics.view???: , ???jsp.display-item.statistics.download???: