Title

모놀리식 3차원 적층 구조 기반의 전계 효과 트랜지스터 활성화를 위한 유전체 및 채널 박막 레이저 열처리를 이용하여 강유전체 전계 효과 트랜지스터를 제조하는 방법

Alternative Title

METHOD FOR MANUFACTURING A FERROELECTRIC FIELD-EFFECT TRANSISTOR USING LASER ANNEALING OF DIELECTRIC AND CHANNEL THIN FILMS FOR ACTIVATION OF A MONOLITHIC 3D STACKED STRUCTURE-BASED FIELD-EFFECT TRANSISTOR

Country

KO

Application Date

2024-10-14

Application No.

10-2024-0139319

Registration Date

2026-07-10

Publication No.

10-2991622

Assignee

(재)대구경북과학기술원(100/100)

URI

https://scholar.dgist.ac.kr/handle/20.500.11750/60571 10-2024-0139319

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